用显微硬度计测量涂层硬度, 垄断容易, 是一种很管用的手段。然而正面测量时, 经常遭到较薄的涂层, 在测量过程中, 很难肃清基体变形的波及。且小载荷压时髦, 对角线很难准确测量, 为硬度测量带来艰难。侧面测量时, 固然能够避免基体变形的波及, 然而, 当涂层较薄时, 也是不实用的。
纳米压入仪测量显微硬度, 避免了在光学显微镜下测量压痕对角线长度, 而且计算机积极登记压入位移, 避免了人为偏差。对于几微米厚的薄膜涂层, 能够获得它的本征硬度。而且,国外科学工作者琢磨阐明[ 5] , 用纳米压入仪测量高硬度薄膜的硬度时, 万一将压入深度与薄膜厚度的比值扼制在定然的范围内, 能够较好地肃清压痕尺寸效应(ISE)。然而, 由于其切身对测验环境要求严厉, 且价格贵重, 因而, 局限了它在显微硬度测验领土中普及。
JH法较好地从涂层与基体的复合硬度中离别出涂层的本征硬度, 而且琢磨了压痕尺寸效应的波及。因而, 获得的硬度值比拟接近于薄膜涂层硬度的恳挚值。然而, JH公式是基于涂层破裂的模型发生的, 而切实测验中, 薄膜未必发生模型假想的那种破裂假象, 因而该模型与切实还存在一的差异。外推法是发生在假定距表面1/10膜厚处的硬度为薄膜硬度的基础上的, 其本身具有较大的偏差, 外推的容易性比拟大,而且未琢磨压痕尺寸效应(ISE)的波及。由Meyer图, 用H=1 854adn-2公式求Hf , 凡是Meyer图制造准确, 此措施求涂层薄膜的硬度比用JH公式更可靠轻便。
总之, 间接法测量要比直接法测量繁琐一些。万一不要求涂层的本征硬度, 而仅为了比拟膜的硬度值大小, 可批准等载荷或等膜厚复合硬度比拟, 未曾必需离别出膜的硬度值。
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